扩散硅压力变送器结构
压力传感器与二极管温度传感器一起封装在测量膜盒顶部,再由两块密封法兰夹住膜盒本体构成了变送器的测量部,负责把工作现场待测的压力信号转换为电压信号。另有电子线路板和液晶显示表头及接线端子构成显示部,负责把传感器输出的电压信号通过放大、二线制信号处理变换4~20mA后,输出标准电流信号 。
扩散硅压力变送器结构图(图)
由于传感器的输出是非标准的信号,在实际应用中为了使传感器具有通用性以及便于信号的传送和记录,就将传感器与带有标准信号输入电路配套使用,使之输出符合标准的信号。此时输出标准信号的传感器就称为变送器 。
简而言之,变送器是从传感器逐步发展而来的。本文研究的扩散硅压力变送器主要由 MEMS 传感器、测量膜盒和接口与处理电路(智能电路板)三大部分组成。
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